ВЛИЯНИЕ ПРИМЕСИ ИТТЕРБИЯ НА ГЕНЕРАЦИОННЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МДП-СТРУКТУР

Авторы

  • Ш.Х. Далиев Национальный университет PУз
  • М.Б. Бекмуратов Национальный университет PУз

Аннотация

С помощью CC-DLTS и высокочастотных вольт-фарадных характеристик исследовано влияние атомов иттербия на электрофизические свойства кремниевых МДП-структур. Показано, что присутствие атомов иттербия в объеме кремниевой подложки приводит к уменьшению плотности поверхностных состояний МДП-структур, но не приводит к заметным изменениям распределения плотности поверхностных состояний Nss по ширине запрещенной зоны Eg.

Загрузки

Опубликован

2019-10-21

Как цитировать

Далиев, Ш., & Бекмуратов, М. (2019). ВЛИЯНИЕ ПРИМЕСИ ИТТЕРБИЯ НА ГЕНЕРАЦИОННЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МДП-СТРУКТУР. «Узбекский физический журнал», 21(5), 329–331. извлечено от http://ufj.uz/index.php/ufj/article/view/138

Выпуск

Раздел

02. Физика конденсированных сред