ВЛИЯНИЕ ПРИМЕСИ ИТТЕРБИЯ НА ГЕНЕРАЦИОННЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МДП-СТРУКТУР
DOI:
https://doi.org/10.52304/.v21i5.138Аннотация
С помощью CC-DLTS и высокочастотных вольт-фарадных характеристик исследовано влияние атомов иттербия на электрофизические свойства кремниевых МДП-структур. Показано, что присутствие атомов иттербия в объеме кремниевой подложки приводит к уменьшению плотности поверхностных состояний МДП-структур, но не приводит к заметным изменениям распределения плотности поверхностных состояний Nss по ширине запрещенной зоны Eg.
Загрузки
Опубликован
2019-10-21
Как цитировать
Далиев, Ш., & Бекмуратов, М. (2019). ВЛИЯНИЕ ПРИМЕСИ ИТТЕРБИЯ НА ГЕНЕРАЦИОННЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МДП-СТРУКТУР. «Узбекский физический журнал», 21(5), 329–331. https://doi.org/10.52304/.v21i5.138
Выпуск
Раздел
02. Физика конденсированных сред