МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА РОСТА И УПРАВЛЕНИЕ ФОРМИРОВАНИЕМ НАНОЧАСТИЦ КРЕМНИЯ В ПЫЛЕВОЙ ПЛАЗМЕ

Авторы

  • Р.Х. Ашуров Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН РУз
  • Б.Е. Умирзаков Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН РУз
  • Б.Л. Оксенгендлер Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН РУз
  • В.М. Ротштейн Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН РУз
  • Х.Б. Ашуров Ташкентский государственный технический университет

DOI:

https://doi.org/10.52304/.v21i3.67

Аннотация

Предложена физическая модель процесса роста наночастиц кремния в форме SiH+3 →SiH03  на основе схемы Мотта-Герни. Разработана концепция процесса формирования наночастиц из моносилана с учетом перезарядки и остановки роста. Осуществлен рост наночастиц кремния в пылевой плазме при различных давлениях моносилана. Показано, что зависимость размера частиц от давления моносилана подтверждает достоверность предложенной концепции.

Загрузки

Опубликован

2019-06-21

Как цитировать

Ашуров, Р., Умирзаков, Б., Оксенгендлер, Б., Ротштейн, В., & Ашуров, Х. (2019). МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА РОСТА И УПРАВЛЕНИЕ ФОРМИРОВАНИЕМ НАНОЧАСТИЦ КРЕМНИЯ В ПЫЛЕВОЙ ПЛАЗМЕ. «Узбекский физический журнал», 21(3), 133–138. https://doi.org/10.52304/.v21i3.67

Выпуск

Раздел

01. Теоретическая и математическая физика. Моделирование физических процессов

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)