НЕКОТОРЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛЁНОЧНЫХ СТРУКТУР, ПОЛУЧЕННЫХ ВАКУУМНЫМ ОСАЖДЕНИЕМ

Авторы

  • Б.М. Абдурахманов Институт ионно-плазменных и лазерных технологий им. У.А. Арифова АН РУз
  • М.Х. Ашуров Институт ионно-плазменных и лазерных технологий им. У.А. Арифова АН РУз
  • Х.Б. Ашуров Институт ионно-плазменных и лазерных технологий им. У.А. Арифова АН РУз
  • М.У. Каланов Институт ионно-плазменных и лазерных технологий им. У.А. Арифова АН РУз, Институт ядерной физики АН РУз
  • Ш.К. Кучканов Институт ионно-плазменных и лазерных технологий им. У.А. Арифова АН РУз
  • Б.Р. Кутлимуротов Институт ионно-плазменных и лазерных технологий им. У.А. Арифова АН РУз, Институт химии и физики полимеров АН РУз
  • С.Е. Максимов Институт ионно-плазменных и лазерных технологий им. У.А. Арифова АН РУз, Институт химии и физики полимеров АН РУз
  • С.Ж. Ниматов Институт ионно-плазменных и лазерных технологий им. У.А. Арифова АН РУз, Ташкентский государственный технический университет

DOI:

https://doi.org/10.52304/.v20i3.86

Аннотация

Показана возможность с использованием ионного стимулирования снизить до 900−1100 К температуру эпитаксии для получения достаточно совершенных пленок в процессе вакуумного осаждения. Приводятся результаты комплекса исследований полученных пленок.

Загрузки

Опубликован

2018-05-21

Как цитировать

Абдурахманов, Б. ., Ашуров, . М. ., Ашуров, Х., Каланов, М., Кучканов, Ш., Кутлимуротов, Б. ., Максимов, С. ., & Ниматов, С. . (2018). НЕКОТОРЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛЁНОЧНЫХ СТРУКТУР, ПОЛУЧЕННЫХ ВАКУУМНЫМ ОСАЖДЕНИЕМ. «Узбекский физический журнал», 20(3), 158–164. https://doi.org/10.52304/.v20i3.86

Выпуск

Раздел

02. Физика конденсированных сред

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)