Комплексные исследования качества компонентов, присутствующих в технологии синтеза моносилана, с помощью аналитических приборов

Авторы

  • В.М. Ротштейн Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН РУз
  • Х.Б. Ашуров Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН РУз
  • Р.Х. Ашуров Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН РУз

DOI:

https://doi.org/10.52304/.v22i5.197

Ключевые слова:

этанол, комбинационное рассеяние, Фурье спектроскопия, моносилан, хромато-масс-спектрометрия.

Аннотация

Проведены комплексные качественные и количественные исследования исходного продукта, этанола, применяемого в технологическом процессе, конечным продуктом которого является моносилан, используемый в дальнейшем для получения нанокристаллического кремния термическим и ионно-плазменным разложением моносилана. Представлены используемые методики и приведены результаты, полученные в комплексных исследованиях с использованием методов хромато-масс-спектрометрии, спектрометрии комбинационного рассеяния и инфракрасной спектрометрии. Продемонстрирована возможность осуществления количественного и качественного анализа образцов этанола методами спектрометрии комбинационного рассеяния (КР) и инфракрасной спектрометрии (ИК), путем исследования интегральных интенсивностей спектральных полос С-Н в спектрах КР и ИК спектрах в диапазоне 2650−3050 см−1 , отвечающих за присутствие этанола, а также спектральных полос гидроксильных групп О-Н в диапазоне 3000−3700 см−1 , отвечающих за присутствие воды в исследуемых образцах.

Загрузки

Опубликован

2020-09-21

Как цитировать

Ротштейн, В. ., Ашуров, Х. ., & Ашуров, Р. . (2020). Комплексные исследования качества компонентов, присутствующих в технологии синтеза моносилана, с помощью аналитических приборов. «Узбекский физический журнал», 22(5), 314–324. https://doi.org/10.52304/.v22i5.197

Выпуск

Раздел

08. Материаловедение

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)